在集成電路、分立器件和其他半導(dǎo)體產(chǎn)品中,半導(dǎo)體材料是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上游環(huán)節(jié)的重要組成部分,起著關(guān)鍵作用。在半導(dǎo)體相關(guān)基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)周期長(zhǎng)、技術(shù)要求高的情況下,企業(yè)必須制定一套長(zhǎng)遠(yuǎn)的策略,以建立良好的設(shè)計(jì)和制造能力。某些細(xì)分領(lǐng)域的公司競(jìng)相開發(fā)新工藝,逐鹿半導(dǎo)體行業(yè)市場(chǎng)。要推動(dòng)數(shù)字化革命,就必須有更強(qiáng)大的計(jì)算和存儲(chǔ)能力,換句話說(shuō),就是芯片的制造,而芯片制造的基礎(chǔ)就是采用更高的水質(zhì),超純水已成為企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)的制勝法寶。
半導(dǎo)體工業(yè)對(duì)清潔水的電導(dǎo)率、離子含量、TOC和顆粒物的要求越來(lái)越嚴(yán)格。由于超純水在許多指標(biāo)上對(duì)半導(dǎo)體的要求很高,因此半導(dǎo)體行業(yè)的超純水與其他行業(yè)的用水要求不同。半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)超純水有極其嚴(yán)格的水質(zhì)要求。
半導(dǎo)體工業(yè)是超純水應(yīng)用的主要產(chǎn)業(yè)之一。在半導(dǎo)體加工過(guò)程中,對(duì)水質(zhì)要求很高,不含任何離子雜質(zhì)。半導(dǎo)體超純水設(shè)備可以有效去除水中雜質(zhì),保證設(shè)備出水水質(zhì)。萊特萊德采用雙反+EDI+Huncotte系統(tǒng)組合工藝,出水可達(dá)18.2mΩ·cm。
反滲透系統(tǒng)采用反滲透原理,主要去除溶解鹽、有機(jī)物、膠體、高分子等,降低水質(zhì)離子含量。EDI是結(jié)合離子交換膜技術(shù)和離子電遷移技術(shù)的純水制造技術(shù)。它不需要酸堿再生,是一種新的脫鹽方法。EDI無(wú)需回收化學(xué)品,運(yùn)行成本低,EDI超純水系統(tǒng)自動(dòng)化程度高,可實(shí)現(xiàn)連續(xù)運(yùn)行,出水水質(zhì)良好穩(wěn)定,出水電阻率高≥ 15mΩ·cm。Huncotte系統(tǒng)用于高純水處理系統(tǒng)的末端凈化器??蓪⑺须x子含量降至ppb級(jí),出水電阻率可達(dá)18.2mΩ·cm,為半導(dǎo)體帶來(lái)更好的性能優(yōu)勢(shì)。
萊特萊德經(jīng)過(guò)多年實(shí)踐,同時(shí)結(jié)合膜分離技術(shù),采用了反滲透和離子交換系統(tǒng)(或EDI)相結(jié)合的方法制備超純水,與傳統(tǒng)方法相比,具有運(yùn)行費(fèi)用低(離子交換器的再生周期大大延長(zhǎng)),運(yùn)行可靠。萊特萊德超純水設(shè)備出水水質(zhì)符合美國(guó)ASTM D5127電子及半導(dǎo)體業(yè)用純水水質(zhì)TypeE-1.2,高于中國(guó)國(guó)家電子級(jí)超純水標(biāo)準(zhǔn)GBT11446.1-1997EW-Ⅰ標(biāo)準(zhǔn)。從研發(fā)設(shè)計(jì)、設(shè)備制造,到工程施工、運(yùn)營(yíng)維護(hù),萊特萊德都秉承"科學(xué)創(chuàng)新,以人為本,客戶至上"的經(jīng)營(yíng)服務(wù)理念,為客戶提供高質(zhì)量水處理設(shè)備。
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