超純水設(shè)備成為行業(yè)重要基石 有效提高半導(dǎo)體成品率

　　近年來，中國(guó)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速。作為科技產(chǎn)業(yè)的底層支撐和未來科技發(fā)展的基石，其發(fā)展趨勢(shì)受到了社會(huì)各界更多的關(guān)注，在智能電子、玩具、新能源汽車、人工智能等方向都有重要應(yīng)用。由于半導(dǎo)體相關(guān)基礎(chǔ)設(shè)施的建設(shè)周期長(zhǎng)、技術(shù)要求高，企業(yè)必須制定長(zhǎng)期戰(zhàn)略，某些細(xì)分領(lǐng)域的企業(yè)爭(zhēng)相開發(fā)更優(yōu)質(zhì)的工藝，參與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)。為了進(jìn)一步推進(jìn)數(shù)字革命，需要更強(qiáng)大的計(jì)算和存儲(chǔ)能力，換句話說，需要更優(yōu)質(zhì)的芯片。制造更優(yōu)質(zhì)的芯片的基礎(chǔ)是使用更高的水質(zhì)，而超純水已成為企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)的制勝法寶。

　　超純水的水質(zhì)直接關(guān)系到半導(dǎo)體成品率

　　在半導(dǎo)體生產(chǎn)中，超純水可用于晶圓漂洗、化學(xué)稀釋、化學(xué)機(jī)械研磨、潔凈室環(huán)境的加濕源等。超純水的質(zhì)量直接關(guān)系到半導(dǎo)體的成品率，隨著半導(dǎo)體元件尺寸的縮小和細(xì)度的提高，對(duì)超純水質(zhì)量的技術(shù)要求也在不斷提高。

　　在超純水生產(chǎn)過程中，只要微粒子、電阻率和TOC與氣泡中的某一指標(biāo)稍有差異，就會(huì)使半導(dǎo)體元件生產(chǎn)的合格率下降。

　　超純水設(shè)備發(fā)展前景廣闊

　　傳統(tǒng)的超純水制備工藝通常采用離子交換樹脂制備，但離子交換樹脂停止生產(chǎn)需要樹脂再生，高能耗也增加了勞動(dòng)力成本。經(jīng)過多年的實(shí)踐，超純水設(shè)備結(jié)合膜分離技術(shù)，利用反滲透結(jié)合EDI裝置制備超純水，出水電阻率可達(dá)18.2MΩ.cm(25℃)，滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)用水的需求。同時(shí)，設(shè)備還配備了反滲透預(yù)脫鹽技術(shù)，以確保設(shè)備的出水水質(zhì)。同時(shí)，EDI處理裝置產(chǎn)生的廢水較少，不會(huì)污染環(huán)境，具有較高的環(huán)境效益和經(jīng)濟(jì)效益，具有廣闊的發(fā)展前景。

　　超純水設(shè)備具有連續(xù)出水、無需酸堿再生和無人值守、安裝簡(jiǎn)便、操作方便等優(yōu)勢(shì)，出水水質(zhì)符合電池用水相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，為半導(dǎo)體用水保駕護(hù)航。隨著超純水設(shè)備技術(shù)不斷完善，開啟了各行業(yè)生產(chǎn)發(fā)展的新局面。許多企業(yè)在生產(chǎn)過程中對(duì)水質(zhì)純度有不同的要求，并得到了廣泛的應(yīng)用，如清洗設(shè)備用水、精密產(chǎn)品生產(chǎn)用水、檢測(cè)用水等。

　　結(jié)語(yǔ)

　　作為半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)的重要基石，超純水設(shè)備是半導(dǎo)體制造端的重中之重。超純水設(shè)備改善了傳統(tǒng)工藝階段供水的缺點(diǎn)，配備了濃縮水置換的專業(yè)技術(shù)，防止微生物對(duì)膜系統(tǒng)的污染。通過完善的技術(shù)，提高系統(tǒng)回收率，降低能耗和運(yùn)行成本。