超純水設(shè)備確保芯片加工用水純凈度

　　據(jù)中國(guó)半導(dǎo)體協(xié)會(huì)(CSIA)統(tǒng)計(jì)，中國(guó)有一千六百多家本地半導(dǎo)體公司，全球市場(chǎng)份額也上升到13%。除了當(dāng)?shù)仄髽I(yè)，越來越多的跨境企業(yè)從事半導(dǎo)體業(yè)務(wù)。另一項(xiàng)統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示，自今年以來，5萬多家主營(yíng)業(yè)務(wù)與半導(dǎo)體無關(guān)的企業(yè)在中國(guó)注冊(cè)了半導(dǎo)體業(yè)務(wù)。

　　芯片相當(dāng)于電子工業(yè)的大腦。雖然它只有指甲那么大，但數(shù)十億納米晶體管應(yīng)該放在芯片板上。在芯片生產(chǎn)中，超過80%的工藝需要化學(xué)處理，每種化學(xué)處理都離不開水。集成電路集成度越高，對(duì)水質(zhì)的要求就越高。因此，芯片行業(yè)對(duì)生產(chǎn)用水的水質(zhì)有非常嚴(yán)格的要求。一旦水質(zhì)不合格或水中含有雜質(zhì)，設(shè)備的性能和產(chǎn)量就會(huì)降低。因此，超純水需要用于芯片生產(chǎn)。

　　萊特萊德采用雙反+EDI+拋光混合床組合工藝：反滲透系統(tǒng)采用反滲透膜元件，利用反滲透原理去除水中溶解的鹽、有機(jī)物、膠體和大分子。降低水質(zhì)中的離子含量。EDI是一種結(jié)合離子交換膜技術(shù)和離子電遷移技術(shù)的超純水制造技術(shù)，無酸堿再生。這是一種新的脫鹽方法。EDI系統(tǒng)處理超純水無回收化學(xué)品，運(yùn)行成本低，EDI系統(tǒng)自動(dòng)化程度高，連續(xù)運(yùn)行，水質(zhì)好，穩(wěn)定，出水電阻率高≥15mω·cm。超純水處理系統(tǒng)末端凈化器采用拋光混合床。半導(dǎo)體級(jí)混合床離子交換樹脂的設(shè)計(jì)和生產(chǎn)可將水中的離子含量降低到PPB水平，出水電阻率可達(dá)18.2MΩ.cm。確保芯片生產(chǎn)用水的純度就足夠了。