半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的硅晶圓生產(chǎn)，離不開超純水設(shè)備

　　熟悉半導(dǎo)體領(lǐng)域的人都知道晶圓，但是對于不太關(guān)心科技的人來說那就是不曾聽聞了。晶圓，簡單來說就是半導(dǎo)體電路的核心組件，是一種承載物，是一種是制成半導(dǎo)體積體電路的原材料。

　　作為半導(dǎo)體電路的重要組成部分，硅晶圓的生產(chǎn)至關(guān)重要，其清洗用水多為高質(zhì)量的超純水，超純水質(zhì)量也影響著硅晶圓產(chǎn)出的質(zhì)量，那么什么樣的超純水設(shè)備才能產(chǎn)出高質(zhì)量的超純水呢?

　　采用預(yù)處理+反滲透+EDI+拋光混床組合形式的超純水設(shè)備方可制備出高質(zhì)量的超純水。該設(shè)備具有高效低能、運(yùn)行成本低，水資源利用率高、體積較小、維修量小，運(yùn)行的時間長等優(yōu)點(diǎn)。設(shè)備應(yīng)用的EDI模塊水處理過程中不需要添加任何化學(xué)品，不僅減少了化學(xué)品運(yùn)輸問題，同時降低了系統(tǒng)運(yùn)行費(fèi)用。本模塊不會有酸堿廢液產(chǎn)生，所以不需要酸堿中和池，一般情況下，EDI水處理系統(tǒng)產(chǎn)出的濃水完全可以回收再利用。

　　整套設(shè)備主要是消耗電量來維持系統(tǒng)運(yùn)行，其耗電量比傳統(tǒng)混床工藝低，無需樹脂更換，自動化性能強(qiáng)，無需人工操作。超純水設(shè)備能夠連續(xù)穩(wěn)定的制備品質(zhì)優(yōu)良的超純水，采用的設(shè)計結(jié)構(gòu)相對靠緊，所以其占地非常小，可以為企業(yè)節(jié)省很多空間，在符合硅晶圓生產(chǎn)用水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)的同時可以使水資源的利用率達(dá)到95%~99%，有效提升了水資源利用率。

　　隨著科技的不斷進(jìn)步，半導(dǎo)體行業(yè)不斷的發(fā)展，我國對于該行業(yè)的政策支持，使得硅晶圓的市場需求也在不斷增加，超純水的需求也在悄然的增加。

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　　編輯：柒柒   技術(shù)：米